1. 智慧化與數據化管理 (Intelligent & Data-Driven Management)
系統內建先進的PLC與圖形化觸控人機介面(HMI),透過對超純水最關鍵的線上感測器(如:比電阻、TOC總有機碳、微粒子、壓力、流量),進行24小時即時監控。所有數據皆被自動記錄,形成完整的品質履歷(Quality History),除可與工廠SCADA/MES系統連線外,更能為半導體等精密製程的良率追溯提供關鍵依據。
2. 高效產水與極致純度 (High-Efficiency Production & Ultimate Purity)
系統的核心製程(如RO逆滲透、EDI電去離子、拋光樹脂)經過最佳化設計,確保極高的產水效率與極致的水質純度。例如,RO段的水回收率可達75%以上以節省水資源,而最終產水電阻率穩定維持在18.2 MΩ-cm,TOC及各類離子濃度可達ppt等級,完全滿足最先進的半導體製程需求。
3. 全方位品質安全防護 (Comprehensive Quality & Safety Protection)
設備內建多重品質與運轉安全防護機制。除了洩漏、壓力、溫度等硬體保護外,更關鍵的是具備「品質連鎖保護」功能。一旦線上水質監測出現異常,系統會自動將不合格的水路進行切換或導流,防止不合格的超純水進入後端產線,從而杜絕因水質問題導致的災難性良率損失。
4. 空間優化、操作簡便 (Space Optimization & Simple Operation)
這套全新的超純水系統突破了傳統設備佔地龐大的限制,將複雜的多級純化程序高度整合於緊湊的橇裝平台之上。這項創新設計大幅縮減了系統的佔地面積,為客戶釋出寶貴的無塵室或高價值廠房空間,同時也簡化了日常的操作與維護動線,顯著提升了管理的便利性。
5. 穩定供水迴路與多點支援 (Stable Supply Loop & Multi-Point Support)
系統不僅是製造超純水,更核心的是建立一個壓力、流速與水質恆久穩定的供水迴路(Loop)。透過精密的管路工程與壓力控制,能夠同時穩定供應廠內數十個乃至數百個不同的使用點(Point of Use, POU),確保每一個製程機台所獲得的超純水品質完全一致,展現了卓越的系統整合與穩定輸送能力。



