1. 智慧化與數據化管理 (Intelligent & Data-Driven Management)
系統內建PLC與圖形化觸控人機介面,即時監控對鹼性水最關鍵的pH值、氧化還原電位(ORP)、導電度與流量等參數。所有數據皆被自動記錄,形成完整的品質履歷,可與工廠SCADA/MES系統連線,確保製程的高度可控性。
2. 高效生成與極致穩定 (High-Efficiency Generation & Ultimate Stability)
採用高效能的專利電解槽技術,確保在低能耗下,穩定生成指定規格的鹼性電解水。獨特的流場與電極設計,保障了長時間運轉下的pH與ORP值穩定不漂移,為前端製程提供品質恆定的清洗液。
3. 模組化設計與未來擴充性 (Modular Design & Future Scalability)
整套系統採用標準化的模組設計,將超純水進水單元、核心電解槽、氣液分離與控制模組各自獨立。此設計能依據客戶當前的用量客製化組合,並為未來的產能擴張預留了便捷的升級空間。
4. 全方位安全防護 (Comprehensive Safety Protection)
設備內建多重安全防護機制,包括針對電解副產物(氫氣)的濃度偵測與強制通風、漏液偵測、過溫過壓保護等。任何異常發生時,系統會立即觸發聲光警報並進入安全模式,全面保障人員與廠房安全。
5. 空間優化、操作簡便 (Space Optimization & Simple Operation)
本系統將複雜的電解生成程序整合於單一機台,相較於傳統龐大的化學品儲存槽與混合供應系統,其佔地面積大幅縮減。自動化的操作流程極大化地簡化了日常管理工作,提升了便利性。
6. 即時應答與多機供給 (Real-time Response & Multi-Tool Supply)
系統具備即時應答前端需求的卓越能力,可建立穩定的供水迴路,同時供給多台製程設備(如晶圓清洗機台)使用。中央化的生成與管路配送,確保了每一個使用點的鹼性水品質完全一致,展現了高度的整合性。



